Rotirajuća cilindrična meta od titana

To je komponenta koja se koristi u procesima fizičkog naparivanja (PVD), što je metoda za nanošenje tankih slojeva materijala na podlogu. Titanska cijevna meta izrađena je od čistog titana i oblikovana je poput cilindra koji se rotira tijekom PVD procesa.

PVD proces radi korištenjem električnog luka ili magnetronskog raspršivanja za isparavanje ciljanog materijala, u ovom slučaju titana, i njegovo taloženje kao tanki film na podlogu. Rotirajuća cilindrična meta omogućuje ravnomjernije taloženje titanskog filma na podlogu.

Prednosti korištenja u PVD procesima uključuju visoku čistoću nanesenog filma, visoku brzinu taloženja i poboljšanu adheziju filma. Titanske rotacijske mete za magnetronsko raspršivanje izrađene su od visokokvalitetnog titanijskog materijala i dizajnirane su da izdrže visoke temperature i mehanička naprezanja tijekom PVD procesa.

Specifikacija Uvod

Tip normalne veličine:

Naša prednost

Titanijske mete koje isporučujemo imaju mala zrna, jednoliku raspodjelu, visoku čistoću, malo inkluzija i visoku čistoću. Taloženi TiN film koristi se u dekoraciji, alatima, poluvodičima i drugim poljima, s dobrim prianjanjem, jednolikim premazom i svijetlim bojama.

--Čistoća

Za proizvodnju kvalificirane mete za prskanje od titana, čistoća je jedan od važnih pokazatelja učinkovitosti. Čistoća titanijske mete ima veliki utjecaj na učinak raspršenog premaza. Što je veća čistoća titanijske mete, to je manje čestica nečistoća u raspršenom titanskom filmu, što rezultira boljom izvedbom PVD premaza, uključujući bolju otpornost na koroziju te električna i optička svojstva. Međutim, u praktičnim primjenama titanijske mete za različite namjene imaju različite zahtjeve za čistoćom. Ciljani materijal se koristi kao izvor katode u raspršivanju, a elementi nečistoća i porozni uključci u materijalu glavni su izvori onečišćenja nataloženog filma. Porozne inkluzije bit će uglavnom uklonjene tijekom ispitivanja bez razaranja ingota, a porozne inkluzije koje nisu uklonjene uzrokovat će pražnjenje tijekom procesa raspršivanja, čime će utjecati na kvalitetu filma; sadržaj elemenata nečistoće može se odraziti samo na rezultate ispitivanja pune analize elemenata, što je manji ukupni sadržaj nečistoća, to je veća čistoća titanijske mete.

--Gustoća

Gustoća je također važan faktor u mjerenju kvalitete titanskih meta. Kako bi se smanjila poroznost u ciljnoj krutini i poboljšala izvedba raspršenog filma, cilj obično mora imati veću gustoću.

Gustoća mete ne utječe samo na brzinu raspršivanja, već i na električna i optička svojstva filma. Što je veća ciljna gustoća, to je bolja izvedba filma. Dodatno, povećanje gustoće i čvrstoće mete omogućuje meti da bolje podnese toplinski stres tijekom raspršivanja. Gustoća je također jedan od ključnih pokazatelja učinka cilja.

--Veličina čestica i njihova distribucija

Tipično, mete za raspršivanje su polikristalne strukture s veličinama zrna reda veličine od nekoliko mikrometara do nekoliko milimetara. Za istu metu, što je manja veličina čestica mete, to je veća brzina raspršivanja mete; osim toga, meta s manjom razlikom u veličini čestica može prskati film s ujednačenijom debljinom. Studija je otkrila da ako se veličina zrna titanijske mete kontrolira ispod 100 μm, a varijacije veličine zrna održavaju unutar 20%, kvaliteta raspršenog filma može se znatno poboljšati.

--kristalografska orijentacija

Titan ima zbijenu heksagonalnu strukturu. Budući da se atomi titanijske mete lako raspršuju duž heksagonalnog tijesno pakiranog smjera atoma tijekom raspršivanja, kako bi se postigla veća brzina raspršivanja, kristalna struktura mete može se promijeniti promjenom metode. za povećanje brzine raspršivanja. Kristalografski smjer titanske mete također ima veliki utjecaj na ujednačenost debljine raspršenog filma.

--Strukturalna jednolikost

Strukturna uniformnost također je jedan od važnih pokazatelja za ispitivanje kvalitete mete. Za mete od titana potrebna je ne samo ravnina raspršivanja mete, već i sastav normalnog smjera, orijentacija zrna i jednolikost prosječne veličine zrna ravnine raspršivanja. Samo na taj način titanska meta može dobiti titanski film jednolike debljine, pouzdane kvalitete i dosljedne veličine zrna u isto vrijeme tijekom svog životnog vijeka.

Slučaj specifikacije

Brzina rotacije: meta bi se trebala moći okretati brzinama do nekoliko tisuća okretaja u minuti kako bi se postigla ravnomjernija stopa taloženja i produžio vijek trajanja mete.

Hlađenje: Meta od titanijske cijevi treba biti hlađena vodom kako bi se raspršila toplina koja se stvara tijekom procesa taloženja i spriječilo oštećenje mete.
Podložna ploča: titanska podložna ploča obično se koristi za podupiranje mete rotirajućeg cilindra i pružanje električnog kontakta.
Metoda lijepljenja: meta se obično spaja na podložnu ploču difuzijskim lijepljenjem ili drugim metodama lijepljenja visoke čvrstoće kako bi se osigurala dobra toplinska i električna vodljivost.
Čistoća: Rotacijske mete od titana za magnetronsko raspršivanje trebale bi imati visoku razinu čistoće kako bi se smanjile nečistoće u nanesenim filmovima i osigurala dosljedna izvedba. Razina nečistoće trebala bi biti manja od 1000 dijelova na milijun (ppm) za većinu primjena.

Općenito, specifikacije mete s rotirajućim cilindrom od titana varirat će ovisno o specifičnim zahtjevima primjene, a meta se može prilagoditi kako bi zadovoljila te potrebe.

Popularni tagovi: Rotacijske mete od titana za magnetronsko raspršivanje, meta od titanijske cijevi